Burger
Report

Target- und Analysenkammer fuer die Oberflaechenanalyse von Si-Wafern mit Laser-Plasma-induzierter Roentgenstrahlung

No abstract available.
  • URL: https://publications.hereon.de/id/25537/
  • Authors:Beaven, P., Knoth, J., Schwenke, H., Lahmann, W., Schneider, H., Kiehn, R., Buhrz, J., Stahlbock, D.
  • Year:2006
  • Type:Report
  • Cite as: Beaven, P.; Knoth, J.; Schwenke, H.; Lahmann, W.; Schneider, H.; Kiehn, R.; Buhrz, J.; Stahlbock, D.: Target- und Analysenkammer fuer die Oberflaechenanalyse von Si-Wafern mit Laser-Plasma-induzierter Roentgenstrahlung. 2006.
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